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一己之力打破外国技术垄断,“中国刻蚀机之父”,成就了传奇 ...

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发表于 2022-10-9 08:31:04 | 显示全部楼层 |阅读模式 来自 江苏南通
原标题:一己之力打破外国技术垄断,“中国刻蚀机之父”,成就了传奇, c! i3 i1 i/ ~  R2 L6 }1 b5 R
                          
/ b8 J: I$ o1 |2 ~( K  L1 O# \; f" N 文 | 华商韬略 幼清' f! Z2 o! ^& h4 L' k
说起芯片技术,除了屡屡被提到的光刻机,第二重要的便是“刻蚀机”。
. n, Y$ L) r# U" R6 F# { 刻蚀机是什么?芯片生产主要有五个核心步骤,排在前两位的,便是光刻和刻蚀。
" W5 u, K7 q' d: ~8 C 如果说从硅片到芯片的过程是“剪窗花”,光刻机便是画花样的铅笔,刻蚀机就是沿着花样剪出花纹的剪刀。- U9 w8 N5 ]' N
刻蚀机为何重要?刻蚀机和光刻机一样,都是芯片生产线上的重要设备,缺一不可,无可取代。$ A( s, q$ O7 i: V" A3 p4 @
而来自美国和日本的三家巨头企业,掌控了刻蚀机的市场份额,占比一度高达94%。中国每年进口的芯片总额超过2000亿美元,超过了原油。
/ v; E; j0 C! Y# [ ) X  y! @  n2 T( e: A6 I& D. R
更严重的是,如今的芯片面临的困难正转变为“买无可买”。众所周知,近年来美国等国家对中国的芯片封锁愈发严重,包括华为在内的许多国企都将面临“无芯片可用”的困境。, o* @8 X! j0 P( U
中国刻蚀机的发展,离不开被誉为“中国刻蚀机”第一人的尹志尧。
, z( t9 h8 \2 k. V 2004年,曾为美国芯片制造装备研发领域资深专家的尹志尧回到中国,与数十位半导体华裔专家共同创业,放弃了美国千万年薪的工作。彼时的他,已年过六十。' o, M7 V! I5 y6 i
成立中微半导体后,尹志尧团队仅用了几年时间,就造出了第一台完全由我国自主研发的等离子体刻蚀机。
7 r1 b) T( S; | 到2007年,中微推出可用于65至16纳米制芯片制造的等离子体刻蚀机。而目前,据尹志尧透露,中微研发的等离子刻蚀设备已经进入客户的5纳米生产线。发展速度可见一斑。
3 Y% P3 U5 G" u; M. ]. Y 取得众多成就的同时,中微也遭受着领域空白、巨头打压、地缘政治等多重困难:2007年,应用材料公司将中微告上了美国法庭;2009年,美国泛林半导体在中国台湾状告中微专利侵权......' ~# X" D7 N1 ?+ f, K
而这些困难,都被中微一一化解。截至目前,中微半导体已申请了1200多项专利技术。9 M% p# h$ R" _6 _5 S
除了中微,“北方华创”近年来也迅速崛起,有关其的最新报道“北方华创正式发布CCP介质刻蚀机 完成刻蚀领域最后一块拼图”非常振奋人心,让国人看见了中国芯片行业的希望。
* Z4 N, q1 |5 o- a; }! \
6 Q  Y7 _% a! O6 Z 尹志尧对中国刻蚀机的发展意义非凡,但如何能迎来更多“尹志尧”?对于人才的紧缺,尹志尧本人也不禁发出疑问:“我们有着世界上最多的大学毕业生,却找不到几个半导体可用人才,实在说不过去,我们的人才都哪儿去了?”
9 P7 Y8 P% f/ y- {$ M# f$ U7 x 人才紧缺一直是技术卡脖子的重要原因,而为了让“芯片卡脖子”成为历史,首先要加强对国内人才的培养和储备,例如加大高校芯片相关产业和基础学科的招生人数。  N4 \7 K) F: D
而对于国外人才,则应加强高端人才的引进,营造良好、稳定的工作环境。
  G( d3 U. ^* o 随着一份份财报中显示的芯片行业研发前景明朗、“科创板”等相关扶持政策不断出台,相信人才方面的空缺被填补后,中国芯片也将像中国刻蚀机一样,自主创新,不受制于人。
5 O1 T1 _5 u* h: @* i ——END——. W' [( V2 T6 S
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